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擴散硅壓力變送器工作原理
關鍵字：擴散硅壓力變送器,壓力變送器

1、擴散硅壓力變送器采用半導體硅作感壓元件，硅半導體材料具有壓阻效應，在壓力作用下，硅晶格間隙發生變化，導致載流子遷移率的改變，從而引起電導率變化。對于半導體電阻體，當機械變形時，電阻率的相對變化率遠大于外形尺寸L、A的相對變化率，其電阻變化率主要是壓阻效應造成，當半導體壓阻片與彈性元件處于一體，受壓而發生同一應變時，應變量c與被測壓力p成正比，說明半導體壓阻片的電阻變化率與被測壓力成正比，由此可測出壓力的變化。當被測壓力(差壓)在全量程范圍內波動時(相應壓敏電阻變化量為△R)，變送器輸出統一信號為4—20mA。
2、擴散硅壓力變送器，采用IC(集成電路)技術直接在硅膜上擴散形成應變測量橋路元件。因此體積可做得很小。擴散硅壓力變送器具有精確度高，直接輸出直流信號，線性度好，適用溫度范圍廣，重量輕，體積小，結構簡單等特點，可用于靜壓、動態壓力測量。
 
 
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